风淋室

　　在亚洲最高规格的传感器与物联网行业盛会——2017中国（上海）国际传感器技术与应用展览会（简称“SENSOR CHINA”）的开幕式暨2017全球传感器与物联网产业峰会上，多位院士及众多业界领袖济济一堂，中国科协副主席、中国科学院院士王曦，工信部原副部长杨学山，国家集成电路产业投资基金总经理、中国高端芯片联盟理事长丁文武，工信部电子司副司长吴胜武，上海科学技术委员会主任寿子琪，上海市嘉定区委书记马春雷共同启动上海微技术 工业研究院“超越摩尔”研发中试线运营。自此，由上海微技术工业研究院（以下简称“工研院”）构建的国内首条，全球领先，兼容CMOS的8英寸研发中试线正式向业界发声，在打造中国完整的“超越摩尔”产业链基础上，旨在逐步推动中国“超越摩尔”技术和物联网创新应用加快速度进行发展，引领全球。

　　当前，以移动网络、物联网、云计算、大数据、人工智能等为代表的信息技术正加速创新、融合和普及应用，一个万物互联智能化时代正在到来。其中，超越摩尔技术以传感器为核心，结合射频、功率、微能源等技术，是未来实现万物互联的基础性、决定性核心技术之一。

　　事实上，传感器的市场应用已呈现爆发式增长态势，产品品种类型丰富，多达上千， 此前美国举行的MEMS Bryzek预测MEMS芯片市场将在2023年达到1兆片（trillion）的市场规模，同时，中国智能传感器市场也预计将于2019年达到960亿元。

　　然而，纵观我国超越摩尔领域现状，虽经历多年的理论研究与技术验证，积累了大量宝贵的知识和经验，但在真正放进产品做实际应用时往往存在与生产平台脱节的情况。这都是源于MEMS产品的研发所涉及的技术链条较长，且其“非标”特性使得它的研发与创新需要和产线有一段比较长的磨合期，不同于CMOS的标准工艺，可以说对产线“严重依赖”。而中试就是必经阶段，是目前国内传感器厂家共同面临的挑战，据统计，科技成果经过中试，产业化成功率可达80%，未经中试成功率仅有30%。基于此背景，工研院立足拥有国内一流集成电路研发和产业基础的上海，志在实施超越摩尔计划，争取在这一领域与国际领先水平并行。

　　落地上海嘉定工业区，近5,000平方米的高等级微纳加工超净厂房内，工研院与国际领先的晶圆厂密切合作构建的8英寸“超越摩尔”研发中试线，不仅实现了从研发到量产的无缝衔接，更丰富完整了国内的超越摩尔生态链，是对标国际产业竞争的关键一环。

　　目前，在“超越摩尔”领域，相比于业界广泛使用的6英寸产线，贯通从研发到量产全程服务的SITRI 8英寸线是公认的领先技术。据悉，8英寸研发中试线将专注于“超越摩尔”传感器产品技术的开发，可以全方面开展表面、体、3D微纳加工以及新工艺、新器件、新系统的研发，并根据“超越摩尔”产品和技术特点部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁传感、功率及生物等相关工艺和量测设备。作为国内第一条先进8英寸研发中试线英寸研发中试线不仅可承担产品研制、小批量生产、技术培养和训练、设备验证等服务，有助于提升研发的成功率，更将助力实现 “超越摩尔”产品和技术从研发到量产的无缝衔接。

　　以全球领先的“超越摩尔”8英寸研发中试线为支点，工研院试图打造集研发、工程、市场、孵化的一体化功能平台，为创新企业及合作伙伴提供全方位的服务和解决方案：

　　在研发创新环节：工研院建立了全国首个成熟、完善的MEMS-IC软件设计平台、开发MEMS-ICIP核库；近5,000平方米的先进“超越摩尔”研发8英寸研发中试线更将专注于新工艺、新材料及新器件的开发与整合；同时提供集成电路设计、系统集成及以及完整物联网系统解决设计方案；

　　在中试制造环节：工研院建立全球领先8英寸MtM研发中试线、世界先进的工程测试分析平台、MEMS/ASIC的晶圆测试、封装测试等测试能力；提供完整的专利及器件分析、研究服务，并提供知识产权许可、保护及谈判方面的专家级指导；

　　在产业整合领域：工研院将逐步推动例如汽车电子、智慧医疗、智能安防、智能家居、智能消费类产品等细分物联网市场与传感产业进行垂直产业链与横向服务市场的整合，推进相关产业的加快速度进行发展；发起并参与例如中国传感器与物联网产业联盟，“超越摩尔”产业技术创新联盟等产业联盟，更将推动 “超越摩尔”及物联网产业的关键标准方面制定，并通过SENSOR CHINA等展会与系列活动提供全世界的市场支持；

　　构建全世界创新网络：工研院在美国硅谷、法国格勒诺布尔、台湾新竹等地建立分支机构，在全世界内布局创新网络；

　　投资基金与孵化加速器：由工研院、国家集成电路产业投资基金和其他战略投资人共同发起成立规模为50亿元的“超越摩尔”产业基金，为创新公司可以提供关键的早期支持；并配套全球化创新网络提供软硬件结合的孵化服务。

　　总之，以8英寸线强劲的技术上的支持为依托，以互助基金和孵化加速器为支撑，工研院致力于“超越摩尔”领域和物联网行业初创团队的投资与孵化，让产业资源和资金优化配置，加快研发技术和企业孵化，在全世界内布局创新网络，真正营造“超越摩尔”产业创新生态。

　　一个产品，从实验室到工厂，最难走的一段路是中试。因高成本低产出甚至无产出，对许多实验室里的前沿技术来说，中试期犹如一条看不见亮光的黑暗通道，无缘靠利润和市场来维持。记者昨天来到位于嘉定工业区北区的我国首条“超越摩尔”中试线，探访这家立志突破我国半导体产业“中试盲区”的研发创新平台。 超洁净的“悬空”厂房 穿上抗静电的洁净服、鞋子、手套、口罩后，经过风淋房将身上的微尘全部吹走……每天，上海微技术工业研究院MEMS技术工程总监徐元俊和他的同事们，都把自己装扮成超洁净的“白企鹅”，才能进入8英寸“超越摩尔”研发中试线平方米的十级洁净室，要求一分钟内每立方英尺空间内，大于0.2微米的微尘少于10颗！超级洁净室共

　　曾经的关键力量离开地球去寻找他的创造者，群龙无首混沌当道，慢慢的变多的挑战敌对力量来到地球，地球陷入毁灭危机……这是《变形金刚5》的剧情前奏，最终大黄蜂与英国爵士及牛津大学教授联手将地球从一场彻底毁灭的浩劫中挽救。 这场科幻电影也像极了人类现实科学的一些场景。从1965年提出延续至今的摩尔定律就像那个即将遭遇灭顶之灾的地球，近年来被业界广泛认为即将面临终极挑战，例如制程缩小的物理极限，功耗越来越高热问题，纳米级芯片制造生产线的天价造价……一些权威人士指出，在摩尔定律的影响之下半导体创新已经行将末路。这不禁让人感慨，经历世纪之交的工程师们的创新未来，很有可能会被物理法则限制。 ADI公司总裁兼首席执行官Vincent Roc

　　定律的铁三角组合:技术、物理系统与生态系统 /

　　在亚洲最高规格的传感器与物联网行业盛会——2017中国（上海）国际传感器技术与应用展览会（简称“SENSOR CHINA”）的开幕式暨2017全球传感器与物联网产业峰会上，多位院士及众多业界领袖济济一堂，中国科协副主席、中国科学院院士王曦，工信部原副部长杨学山，国家集成电路产业投资基金总经理、中国高端芯片联盟理事长丁文武，工信部电子司副司长吴胜武，上海科学技术委员会主任寿子琪，上海市嘉定区委书记马春雷共同启动上海微技术 工业研究院“超越摩尔”研发中试线运营。自此，由上海微技术工业研究院（以下简称“工研院”）构建的国内首条，全球领先，兼容CMOS的8英寸研发中试线正式向业界发声，在打造中国完整的“超越摩尔”产业链基础上，旨在进一步推

　　”研发中试 /

　　11月18日-19日，2021（第十三届）传感器与MEMS产业化技术国际研讨会（暨成果展)于厦门海沧召开。专注于MEMS传感器和系统模组产品研发生产的歌尔微电子股份有限公司出席了本次会议。 据歌尔微电子研发总监王德信介绍，歌尔微电子于2017年10月成立，2019年12月，歌尔股份将微电子业务进行重组，由歌尔微电子统一运营。 歌尔微电子的产品大范围的应用于智能手机及周边智能终端、智能穿戴、智能家居、汽车电子、医疗健康、人工智能以及物联网等领域。有关数据显示，2020年全球MEMS企业排名中，歌尔微电子位居第六位，是唯一一家进入前十的中国企业。 王德信并介绍了MEMS传感器的行业趋势。“AI和5G时代，终端产品朝着集成化、小型化和多功

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