风淋房

　　2月13日，大年初四。平常人来人往的中国科学院空天信息立异研究院（以下简称“空天院”）中关村园区，今日分外安静。在万家团圆的新春佳节，邢艳荣一大早就来到试验室，忙起芯片加作业业。

　　邢艳荣是空天院高精度压力传感器团队的试验师。这个新年假日，她和搭档们都有必要“泡”在试验室超净间里，加班加点完结压力传感器芯片出产任务。

　　“新年前夕，我国中东部地区呈现大范围继续性雨雪冰冻气候，各地气候部门紧迫收购便携式主动气候站、微智主动气候站等。咱们团队需求加班值守，以确保气候压力传感器芯片顺畅出产交给。”空天院研究员、高精度压力传感器团队负责人王军波告知科技日报记者。

　　穿上洁净服、戴上防护帽和胶皮手套，在风淋间“吹风”除尘后，记者跟从邢艳荣来到试验室压力传感器芯片出产超净间。

　　在这里，伴随着各种高精密仪器宣布的嗡鸣声，邢艳荣和搭档们开端在光刻机上作业。光刻是制作芯片的要害过程，邢艳荣将硅晶圆放到机器的凹槽内，设备发动后就会依照事前规划好的工艺参数进行光刻。

　　光刻的成果并不会第一时刻闪现，要查验光刻的成效，还有一个要害环节——显影。“这便是显影液，就像曾经洗照片相同。格子里边是眼睛能看到的彩纹，这个彩纹没有了，显影也就完毕了。”邢艳荣边操作边给记者解说。

　　邢艳荣是两个孩子的妈妈，老迈读初三，正值中考要害期。关于新年加班，她没有一点诉苦。

　　“不光是我，我的搭档们也很辛苦。比方，住在燕郊的搭档晚上都回不了家，由于赶不上最晚的大巴，只能在作业的当地歇息一下。”邢艳荣说，“咱们都想赶快完结压力传感器芯片出产任务，确保订单能够准时交给。”

　　从晶圆到终究的芯片成片，要经过清洗、光刻、显影、刻蚀等多个过程。邢艳荣和搭档们一个星期要加工8—10片晶圆，一个月要出产近6000枚高精度压力传感器芯片。

　　压力传感器是一种能丈量压力巨细并将其转换成可测电信号的器材或设备。高精度压力传感器是航空航天、工业操控高端配备的中心器材。

　　“芯片是压力传感器的中心，芯片的加工水平是压力传感器高精度的重要保证。压力传感器的精度决议了工业测控的精度，比方在气候范畴，高精度压力传感器能更为精确地猜测气候的改变。”空天院研究员、高精度压力传感器团队技能负责人陈德勇说。

　　曾经，我国的高精度压力传感器简直悉数依托进口。空天院高精度压力传感器团队用了数十年的时刻，不只完成了中心部件的国产化，冲破了层层技能壁垒，还将压力传感器的精度进步到了万分之一。

　　“这意味着，假如一架飞机在万米高空中飞翔，万分之一精度的压力传感器差错仅在1米以内。”王军波说，万分之一精度的压力传感器是压力传感器皇冠上的明珠，是我国有必要牢牢把握在自己手中的要害中心技能。

　　“压力传感器自身是受温度影响的，温度快速改变的时分，传感器纷歧定能跟得上温度的改变。咱们现在做的传感器用了两个谐振器，这两个谐振器放的方位很近，对气温改变的反应是简直共同的。咱们经过这种差分的办法，能够大幅度削减温度跟从差错。在这一点上，国外是没有的。”陈德勇对自己规划的产品充溢自傲。

　　作为团队技能负责人，陈德勇已经在压力传感器范畴继续攻关近30年，先后研制出三大类不同作业机理的十余种传感器产品，并处理了使用过程中呈现的一系列工程化问题和批量化制作难题。

　　“放假这些天，我一向都在值勤，由于出产线不能停，要确保出产设备正常作业。我每天都来巡检，看看水、电、气是不是正常作业。”王军波以为，献身假日为满意国家需求而作业义无反顾。

　　“我觉得国家需求，便是对咱们这些科研人员最大的认可。”王军波期望，他们的产品能够更加好地保证国家需求，从而为完成高水平科技自立自强奉献自己的力气。