风淋房

　　穿过制造中心入口的风淋系统，整条产线映入眼帘，一台台设备完成装配调试后，输送至各集成电路先进产线，参与“中国芯”制造。

　　“它们可是‘中国芯’制造的关键一环！”中国电科下属电科装备北京烁科中科信公司党支部书记、总经理李进指着生产线说，这是我们自主研制的国产离子注入机，是集成电路领域的关键设备。

　　“在芯片制造过程中，需要掺入不同种类的元素，按预定方式改变材料的电性能。这些元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中，离子注入机就是执行这一掺杂工艺的芯片制造设备。”李进解释。

　　“它的工作原理是通过电磁场控制高速运动的离子，按照工艺要求的角度及深度以精准完成注入。”李进说，这个难度，不亚于以飞机飞行的速度完成一次侧方位停车。技术总师彭立波连忙补充：“这‘家伙’专业性强、涉及学科多、精密化程度高，极其复杂。”

　　2.5万个零部件要7×24小时密切配合，让束流时刻保持着特定的高能量，精准地注入硅片的指定区域，不能有一丝卡顿……而这些，还只是离子注入机工程化的“基础套餐”。

　　集成电路产线上要比实验室的情况复杂得多，要实现极端严苛的要求，科研团队只能一个关卡接一个关卡地闯，其中有一项是实现高温注入——这是集成电路领域的先进工艺之一，需要连续突破关键部件研制及注入工艺达标两项难关，此前在国内无成功研制先例，是半导体制造领域的典型难题。

　　“时间紧，任务重，我们常常为了实现一个指标，反复验证计算。”李进说，前前后后对整个温控流程进行数十次仿真验证，最终实现了在目标温度下，设备仍能对晶圆均匀吸附，且能够保障高效稳定的传输目标，这项技术已在集成电路产线上得到成功验证。

　　这就要说到当前芯片应用领域中覆盖面最广的制程——28纳米，这也是离子注入机必须打通的工艺节点。

　　“28纳米是注入工序中需求最多及生命周期最长的节点，对注入角度、注入剂量精度有严格要求。注入期间，设备软硬件要紧密配合，需根据不同注入区域实时对注入剂量进行调整，稍有偏颇，良率将达不到产线要求。”李进说。

　　可喜的是，科研团队已连续突破光路、控制、软件等关键模块的核心技术，形成中束流、大束流、高能及第三代半导体等全系列离子注入机产品格局，并实现28纳米工艺全覆盖，保障了“中国芯”的生产制造！

　　云南省曲靖市罗平县马街镇钻天坡，盛开的油菜花梯田在初升太阳映照下，勾勒出一幅田园春景图

　　2024年1月12日，江西省吉安市吉州区庐陵文化生态园层林尽染，色彩斑斓，市民徜徉其间，尽享生态之乐。

　　2023年12月26日，在云南省红河哈尼族彝族自治州元阳县新街镇黄草岭村附近，游客在冬樱花与梯田边游览。

　　2023年12月12日，新疆哈密市巴里坤县第十九届冰雪文化旅游节采冰仪式在高家湖二渠水库进行。仪式主要展示了头冰的开采上岸过程。开幕式上还举行迎风旗、祈福词、喝出征酒等仪式。

　　2023年12月13日，河北省正定古城迎来降雪，古城内外银装素裹，犹如一幅淡雅的水墨画，美如画卷。

　　2023年11月28日，贵州省六盘水市明湖国家湿地公园层林尽染，景色迷人。

　　三角梅原产于巴西，现主要分布在中国、秘鲁、阿根廷、日本、赞比亚等国家和地区。其中，以海南三角梅最为出名。

　　2023年11月23日清晨，朝霞初现，三峡库区湖北省宜昌市秭归县沿江公路G348国道的绝壁岩体上，工人们正在铺设防护网，以防止岩崩和落石。

　　2023年11月23日，黑龙江哈尔滨，哈尔滨站工作人员正在清理站台积雪。

　　2023年11月21日，甘肃敦煌，首趟敦煌号铁海联运国际货运班列装载1000吨石棉驶出，经天津港通过铁海联运发往泰国曼谷。

　　2023年11月21日，江苏省如皋市龙游河生态公园，色彩斑斓的树木与一河碧水相应成趣。

　　江西省赣州市定南县历市镇，一座座风力发电机矗立在延绵群山上，与蓝天白云、绿树青山相辉映，极目远望、蔚为壮观。

　　2023年11月13日，国内首座港口商品车智能立体车库在山东港口烟台港建成并投入试运行。该车库占地13000平方米，可容纳商品车3000余辆，较平面堆存能力提升3倍以上，可完成智能理货、智能调度、智能转运。

　　日前，姚庄镇沉香村生态农场近千亩橘子园已硕果累累。近年来，当地依托自然优势，以柑橘产业、乡村景观资源、亲子旅游市场为基础，与横向的艺术产业、旅游产业相融合，在农民增收、乡风涵养等方面均取得了显著成效，探索出了一条具有本土特色的共富新路径。

　　2023年11月7日，江西省高安市一家机械有限公司员工在生产车间赶制工业接头等产品。该公司2022年被工信部列为第三批专精特新重点小巨人企业，其研发的新型无滴漏干式软管接头组件填补了国内空白，达到国际先进水平。

　　2023年11月7日，在云南昆明滇池（海洪湿地）湖畔，大批红嘴鸥已抵达昆明，给春城昆明增添了一道靓丽美景。

　　2023年11月6日，浙江省金华市，工作人员对光伏设备进行巡视维护。近日，金华传化公路港第二期容量为2.91MW（兆瓦）的屋顶光伏成功并网，标志着企业“光伏＋储能”这一新型小循环能源体系的建立，为企业的电力降本增效提供良好条件。